Thermal EMMI由多(duo)個關(guan)鍵組件(jian)構成(cheng)高效的熱(re)(re)輻射(she)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)平臺，關(guan)鍵包括高靈(ling)敏度(du)InGaAs探測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)、顯(xian)微(wei)(wei)光(guang)學系(xi)統(tong)(tong)、信(xin)號(hao)(hao)處(chu)理單元(yuan)及數據分(fen)(fen)析軟件(jian)。探測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)負(fu)責(ze)捕捉半導體(ti)器(qi)(qi)件(jian)工(gong)作時(shi)釋放的極微(wei)(wei)弱熱(re)(re)輻射(she)信(xin)號(hao)(hao)，顯(xian)微(wei)(wei)光(guang)學系(xi)統(tong)(tong)通過(guo)精密物鏡(jing)聚焦成(cheng)像，實(shi)現微(wei)(wei)米級空間分(fen)(fen)辨率(lv)。信(xin)號(hao)(hao)處(chu)理單元(yuan)采(cai)用(yong)鎖相熱(re)(re)成(cheng)像技術，調(diao)制(zhi)電信(xin)號(hao)(hao)與熱(re)(re)響應相位(wei)關(guan)系(xi)，明顯(xian)提(ti)升熱(re)(re)信(xin)號(hao)(hao)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)靈(ling)敏度(du)。軟件(jian)算(suan)法部分(fen)(fen)對采(cai)集信(xin)號(hao)(hao)進(jin)行(xing)濾波和(he)放大(da)，剔(ti)除(chu)背(bei)景噪聲，生成(cheng)清晰熱(re)(re)圖(tu)像，支(zhi)持(chi)多(duo)種分(fen)(fen)析和(he)可視化(hua)功能。例如，RTTLIT S10和(he)P20型號(hao)(hao)在系(xi)統(tong)(tong)組成(cheng)上有(you)所差(cha)異，前者采(cai)用(yong)非(fei)制(zhi)冷探測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)適合常規檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)，后者配備深制(zhi)冷探測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)滿足高精度(du)需求。整(zheng)體(ti)設(she)計注(zhu)重(zhong)無接觸、無破壞檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)，確保芯(xin)片(pian)(pian)在分(fen)(fen)析過(guo)程中保持(chi)完(wan)整(zheng)。系(xi)統(tong)(tong)廣泛應用(yong)于電子和(he)半導體(ti)實(shi)驗室，幫助工(gong)程師快速定位(wei)電流泄漏、短路等缺陷。蘇州致晟(sheng)光(guang)電科技有(you)限公司通過(guo)持(chi)續技術創新，完(wan)善系(xi)統(tong)(tong)各(ge)組件(jian)性能，為客戶提(ti)供可靠失效分(fen)(fen)析工(gong)具(ju)。它不(bu)依賴外部激發（如激光(guang)或電流注(zhu)入(ru)），而是利(li)用(yong)芯(xin)片(pian)(pian)本(ben)身(shen)在運(yun)行(xing)或偏壓(ya)狀態下產(chan)生的“自發光(guang)”；工(gong)業檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)微(wei)(wei)光(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)貨源充足

Thermal EMMI的(de)(de)(de)(de)(de)工作原(yuan)理基于半導體器(qi)件在通(tong)電(dian)工作時所(suo)產(chan)生的(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)(wei)弱(ruo)近紅(hong)外熱輻射(she)(she)，芯片(pian)中的(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)(que)陷(xian)區域，如短路或漏電(dian)點(dian)，會因電(dian)流異常集中而釋放(fang)出(chu)熱量(liang)，這些熱量(liang)以紅(hong)外輻射(she)(she)的(de)(de)(de)(de)(de)形式被探(tan)測器(qi)捕(bu)捉。系統(tong)(tong)內置高靈敏度InGaAs探(tan)測器(qi)，通(tong)過(guo)顯(xian)微(wei)(wei)光學系統(tong)(tong)將熱輻射(she)(she)信號(hao)聚(ju)焦成像(xiang)，形成熱圖(tu)像(xiang)。信號(hao)經過(guo)鎖相熱成像(xiang)技(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)調制處(chu)理，能夠從(cong)復雜背景中提取出(chu)微(wei)(wei)弱(ruo)的(de)(de)(de)(de)(de)熱信號(hao)，提升檢(jian)測靈敏度和分(fen)(fen)辨率。隨后，低噪聲信號(hao)處(chu)理算法對信號(hao)進行放(fang)大和濾波，去(qu)除(chu)干(gan)擾，確保成像(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)準(zhun)確性(xing)。通(tong)過(guo)對熱圖(tu)像(xiang)中熱點(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)析(xi)，定位缺(que)(que)陷(xian)點(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)位置和強度，為(wei)失(shi)效(xiao)(xiao)分(fen)(fen)析(xi)提供精確依據。該原(yuan)理使得檢(jian)測過(guo)程(cheng)無接觸且無損傷，適合多種電(dian)子器(qi)件和半導體材料的(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)測需(xu)求。Thermal EMMI技(ji)術(shu)(shu)憑借其(qi)先進的(de)(de)(de)(de)(de)熱信號(hao)捕(bu)獲與處(chu)理機制，成為(wei)芯片(pian)級缺(que)(que)陷(xian)定位和失(shi)效(xiao)(xiao)分(fen)(fen)析(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)重要(yao)工具。蘇(su)州致晟光電(dian)科技(ji)有限公司提供的(de)(de)(de)(de)(de)Thermal EMMI系統(tong)(tong)，滿(man)足從(cong)研(yan)發到生產(chan)的(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)子失(shi)效(xiao)(xiao)分(fen)(fen)析(xi)需(xu)求。國(guo)內微(wei)(wei)光顯(xian)微(wei)(wei)鏡備(bei)件技(ji)術(shu)(shu)成熟度和性(xing)價比(bi)，使國(guo)產(chan)方案脫(tuo)穎而出(chu)。

微光(guang)(guang)信(xin)號(hao)的(de)(de)物理來源：芯片在運(yun)行(xing)過程(cheng)中，電氣異(yi)常會導致(zhi)載流(liu)子(zi)(zi)的(de)(de)非平(ping)衡(heng)運(yun)動。當PN結擊穿或(huo)漏電路徑形成時，電子(zi)(zi)與(yu)(yu)空(kong)穴復合會釋放(fang)能(neng)(neng)量(liang)(liang)，這部分(fen)(fen)能(neng)(neng)量(liang)(liang)以光(guang)(guang)子(zi)(zi)的(de)(de)形式(shi)輻射出來。EMMI正是通(tong)過探測(ce)這些光(guang)(guang)子(zi)(zi)來“可(ke)視化”缺陷(xian)。不同缺陷(xian)類型發出的(de)(de)光(guang)(guang)譜(pu)強度與(yu)(yu)波長不同，通(tong)過光(guang)(guang)譜(pu)分(fen)(fen)析還能(neng)(neng)進一步區分(fen)(fen)失效(xiao)機理。例如(ru)，氧化層擊穿會產生寬譜(pu)發光(guang)(guang)，而金屬短(duan)路發光(guang)(guang)較弱但集中。致(zhi)晟光(guang)(guang)電系(xi)統(tong)可(ke)同時采集空(kong)間(jian)與(yu)(yu)光(guang)(guang)譜(pu)信(xin)息，為失效(xiao)分(fen)(fen)析提供更(geng)深層數據支持。

“看光”與“看熱”的互補性：

微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡與鎖(suo)相紅(hong)外熱(re)成(cheng)像(xiang)（LIT）常被(bei)視(shi)為“失效分析的雙(shuang)翼”。前者通過(guo)捕捉電(dian)缺(que)陷導致(zhi)的光(guang)(guang)(guang)(guang)子輻(fu)射(she)實現(xian)(xian)“看光(guang)(guang)(guang)(guang)”，后者通過(guo)測(ce)量能(neng)量流動(dong)的溫度(du)變化實現(xian)(xian)“看熱(re)”。在實際應用(yong)中，兩者的結(jie)合能(neng)提供更立(li)體的故障診斷視(shi)角。例如，當LIT識別出局部過(guo)熱(re)區(qu)域時，EMMI可進一步(bu)確認是否存在漏電(dian)或PN結(jie)擊穿現(xian)(xian)象。這種“光(guang)(guang)(guang)(guang)熱(re)互證”的方式(shi)，極大提升了分析的精度(du)與可信度(du)，也成(cheng)為致(zhi)晟(sheng)光(guang)(guang)(guang)(guang)電(dian)集成(cheng)平臺的重要(yao)技術理念。 微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡降低了分析周期成(cheng)本，加速(su)問題閉環解(jie)決。

微(wei)(wei)光顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)通過(guo)搭載高靈敏度的(de)(de)(de)(de)光電探測(ce)器，比如能捕(bu)捉單光子信號(hao)的(de)(de)(de)(de) EMCCD，再配合高倍率的(de)(de)(de)(de)光學鏡(jing)頭，就能把這些微(wei)(wei)弱光信號(hao)放大并轉(zhuan)化成可視化的(de)(de)(de)(de)圖(tu)像(xiang)(xiang)。在(zai)圖(tu)像(xiang)(xiang)里，有(you)故障(zhang)(zhang)的(de)(de)(de)(de)區(qu)域會呈現(xian)(xian)出明顯(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de) “亮斑”，就像(xiang)(xiang)給芯(xin)(xin)片的(de)(de)(de)(de) “病灶(zao)” 做(zuo)了(le)精(jing)細(xi)標記。它的(de)(de)(de)(de)重要性在(zai)于，現(xian)(xian)在(zai)的(de)(de)(de)(de)芯(xin)(xin)片越來越小，很多故障(zhang)(zhang)藏(zang)在(zai)微(wei)(wei)米甚至納米級(ji)的(de)(de)(de)(de)區(qu)域，沒有(you)微(wei)(wei)光顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)，工程師根本無(wu)法(fa)定位這些隱性缺陷，無(wu)論是(shi)芯(xin)(xin)片研發(fa)(fa)時的(de)(de)(de)(de)問題排查，還是(shi)生(sheng)產后的(de)(de)(de)(de)質量(liang)檢測(ce)，它都像(xiang)(xiang)一雙(shuang) “火眼金睛”，讓隱藏(zang)的(de)(de)(de)(de)故障(zhang)(zhang)無(wu)所(suo)遁形，保(bao)障(zhang)(zhang)電子設備(bei)的(de)(de)(de)(de)可靠性。光發(fa)(fa)射顯(xian)(xian)微(wei)(wei)的(de)(de)(de)(de)非破壞(huai)性特點，確保(bao)檢測(ce)過(guo)程不(bu)損傷器件，滿足(zu)研發(fa)(fa)與量(liang)產階(jie)段的(de)(de)(de)(de)質量(liang)管控需(xu)求(qiu)。工業檢測(ce)微(wei)(wei)光顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)貨源充足(zu)

微(wei)光顯微(wei)鏡依靠光子信(xin)號判定。工業(ye)檢測微(wei)光顯微(wei)鏡貨源充足

Thermal EMMI技(ji)術(shu)以近紅外熱(re)輻射為基(ji)礎，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)捕捉(zhuo)半(ban)導體器(qi)件在工作(zuo)狀態下釋放的(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)弱熱(re)信(xin)(xin)號，其關鍵是(shi)鎖相(xiang)熱(re)成(cheng)像(xiang)，通過調制電(dian)信(xin)(xin)號與熱(re)響應(ying)之間的(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)關系(xi)(xi)，提取(qu)出極其細微(wei)的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)變化。此(ci)方法(fa)大(da)幅(fu)提升了測(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)靈敏度(du)，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)實現納(na)米級的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)分析(xi)能(neng)(neng)力。多頻率(lv)信(xin)(xin)號調制進一(yi)步(bu)增強了特(te)征分辨(bian)率(lv)，使得熱(re)點(dian)定(ding)位(wei)更加精(jing)確(que)(que)。配(pei)合先進的(de)(de)(de)(de)(de)軟(ruan)件算法(fa)，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)有效濾除背景噪(zao)聲，提升信(xin)(xin)噪(zao)比，確(que)(que)保熱(re)圖(tu)像(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)清晰度(du)和(he)(he)可(ke)靠性。顯(xian)微(wei)成(cheng)像(xiang)系(xi)(xi)統具備高精(jing)度(du)光(guang)(guang)學設計，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)實現微(wei)米級空間分辨(bian)率(lv)，配(pei)合高靈敏度(du)InGaAs探(tan)測(ce)(ce)(ce)器(qi)，完(wan)成(cheng)對微(wei)小區域的(de)(de)(de)(de)(de)細致熱(re)分析(xi)。此(ci)技(ji)術(shu)既(ji)能(neng)(neng)滿足(zu)實驗室對高靈敏度(du)和(he)(he)高分辨(bian)率(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)需求，也適應(ying)生產線對快速(su)、準確(que)(que)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)要求。Thermal EMMI技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)無(wu)接觸和(he)(he)無(wu)破(po)壞特(te)性為電(dian)子產品(pin)質(zhi)量(liang)控(kong)制和(he)(he)失效排查提供極大(da)便(bian)利，成(cheng)為現代半(ban)導體檢(jian)測(ce)(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)重要工具。蘇州致晟光(guang)(guang)電(dian)科技(ji)有限公(gong)司的(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)術(shu)在這一(yi)領域處于先進地位(wei)。工業(ye)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)微(wei)光(guang)(guang)顯(xian)微(wei)鏡貨(huo)源充足(zu)