在微(wei)(wei)光(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡 （EMMI）的檢測(ce)中，近(jin)(jin)紅外(wai)波段（NIR）尤為重(zhong)要(yao)。與可見光(guang)(guang)相比，近(jin)(jin)紅外(wai)光(guang)(guang)的穿透(tou)能力更強，可穿透(tou)硅基芯片(pian)的鈍化層(ceng)與部分(fen)(fen)結構(gou)層(ceng)，實現對深(shen)層(ceng)缺陷的檢測(ce)。這使(shi)得 “近(jin)(jin)紅外(wai)微(wei)(wei)光(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡” 成為分(fen)(fen)析(xi)功率(lv)器件、背面發光(guang)(guang)芯片(pian)的重(zhong)要(yao)工具。蘇(su)州(zhou)致晟光(guang)(guang)電(dian)科(ke)技有限公司自主開發的近(jin)(jin)紅外(wai)系統能夠在900~1700nm波段內實現高靈(ling)敏度檢測(ce)，極(ji)大拓寬了半(ban)導體行業(ye)應用(yong)范圍，尤其適用(yong)于先(xian)進封裝、3D IC及(ji)功率(lv)模塊等(deng)復雜結構(gou)的失效分(fen)(fen)析(xi)，為電(dian)子半(ban)導體行業(ye)作出貢獻。微(wei)(wei)光(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡助(zhu)力排查復雜電(dian)路。微(wei)(wei)光(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡哪家好

隨著(zhu)探測(ce)器(qi)靈(ling)敏度與(yu)(yu)光(guang)(guang)(guang)學系(xi)統的(de)持續(xu)進步，微(wei)(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡正向(xiang)更高(gao)(gao)分(fen)辨率(lv)(lv)、更高(gao)(gao)動態(tai)范(fan)圍的(de)方向(xiang)發(fa)展(zhan)。現代EMMI系(xi)統已可(ke)實(shi)現實(shi)時(shi)成(cheng)(cheng)像與(yu)(yu)時(shi)間分(fen)辨觀測(ce)，支持納秒(miao)級瞬(shun)態(tai)發(fa)光(guang)(guang)(guang)捕(bu)捉，為(wei)研究(jiu)高(gao)(gao)速器(qi)件(jian)的(de)動態(tai)行為(wei)提(ti)供了可(ke)能。同時(shi)，AI算法(fa)的(de)引入也(ye)讓圖像識別與(yu)(yu)信(xin)號分(fen)離(li)更加(jia)高(gao)(gao)效，自動識別缺(que)陷類型成(cheng)(cheng)為(wei)趨勢(shi)。未來，EMMI還將與(yu)(yu)紅外(wai)熱像、激光(guang)(guang)(guang)掃描(miao)顯(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡、電(dian)(dian)(dian)子束測(ce)試等多種手(shou)段融(rong)合(he)，形成(cheng)(cheng)智能化(hua)、多模態(tai)的(de)缺(que)陷分(fen)析平臺(tai)。可(ke)以預(yu)見(jian)，微(wei)(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡將在半(ban)導體可(ke)靠性驗證、功率(lv)(lv)器(qi)件(jian)壽命評估以及封裝檢測(ce)等領域持續(xu)扮(ban)演關鍵(jian)角色(se)，為(wei)芯片產業的(de)良(liang)率(lv)(lv)提(ti)升與(yu)(yu)失(shi)效閉環(huan)提(ti)供光(guang)(guang)(guang)的(de)**。檢測(ce)用微(wei)(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡平臺(tai)對于(yu)靜電(dian)(dian)(dian)放電(dian)(dian)(dian)損傷(shang)等電(dian)(dian)(dian)缺(que)陷，微(wei)(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)(wei)鏡可(ke)通過光(guang)(guang)(guang)子發(fa)射(she)準確找(zhao)到問題。

Thermal EMMI技術以近紅外熱(re)輻射為基礎(chu)，能(neng)(neng)夠(gou)捕(bu)捉半(ban)導體器件(jian)在工(gong)作(zuo)狀態下(xia)釋(shi)放的(de)(de)(de)(de)微(wei)弱熱(re)信號，其關鍵是(shi)鎖相(xiang)熱(re)成像，通過調制(zhi)(zhi)電信號與熱(re)響應之間(jian)的(de)(de)(de)(de)相(xiang)位關系，提取出極其細微(wei)的(de)(de)(de)(de)熱(re)變(bian)化。此方法大幅(fu)提升了測量的(de)(de)(de)(de)靈(ling)(ling)敏(min)度(du)(du)(du)，能(neng)(neng)夠(gou)實(shi)現(xian)納米(mi)級(ji)的(de)(de)(de)(de)熱(re)分(fen)析能(neng)(neng)力。多頻率(lv)信號調制(zhi)(zhi)進(jin)一步(bu)增強了特(te)征分(fen)辨(bian)率(lv)，使得熱(re)點定位更(geng)加(jia)精(jing)確(que)。配合先進(jin)的(de)(de)(de)(de)軟件(jian)算法，能(neng)(neng)夠(gou)有效(xiao)濾除背景噪聲，提升信噪比，確(que)保熱(re)圖(tu)像的(de)(de)(de)(de)清晰(xi)度(du)(du)(du)和可靠性(xing)。顯微(wei)成像系統具備高精(jing)度(du)(du)(du)光(guang)學(xue)設計，能(neng)(neng)夠(gou)實(shi)現(xian)微(wei)米(mi)級(ji)空間(jian)分(fen)辨(bian)率(lv)，配合高靈(ling)(ling)敏(min)度(du)(du)(du)InGaAs探測器，完成對微(wei)小區域的(de)(de)(de)(de)細致(zhi)(zhi)熱(re)分(fen)析。此技術既(ji)能(neng)(neng)滿足實(shi)驗(yan)室對高靈(ling)(ling)敏(min)度(du)(du)(du)和高分(fen)辨(bian)率(lv)的(de)(de)(de)(de)需求，也(ye)適應生產線對快(kuai)速、準確(que)檢測的(de)(de)(de)(de)要求。Thermal EMMI技術的(de)(de)(de)(de)無(wu)接(jie)觸(chu)和無(wu)破壞特(te)性(xing)為電子(zi)產品質(zhi)量控制(zhi)(zhi)和失(shi)效(xiao)排(pai)查提供極大便利，成為現(xian)代半(ban)導體檢測的(de)(de)(de)(de)重要工(gong)具。蘇州致(zhi)(zhi)晟光(guang)電科技有限(xian)公司的(de)(de)(de)(de)技術在這一領(ling)域處(chu)于先進(jin)地位。

高(gao)分(fen)(fen)辨(bian)率EMMI技術致力于呈現清晰(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)(que)陷(xian)微(wei)(wei)觀(guan)形(xing)貌(mao)。它通過采(cai)用(yong)更(geng)(geng)高(gao)數值(zhi)孔(kong)徑(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)物鏡、更(geng)(geng)優化的(de)(de)(de)(de)(de)像(xiang)差(cha)校正以及(ji)更(geng)(geng)精(jing)(jing)細的(de)(de)(de)(de)(de)圖(tu)像(xiang)處理(li)算(suan)法(fa)，來提升成(cheng)像(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)間分(fen)(fen)辨(bian)率。當分(fen)(fen)析人員(yuan)需要區分(fen)(fen)兩個緊密相鄰的(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)(que)陷(xian)點，或觀(guan)察(cha)缺(que)(que)陷(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)(jing)細結構以判(pan)斷其類(lei)型時(shi)，高(gao)分(fen)(fen)辨(bian)率成(cheng)像(xiang)顯(xian)(xian)得(de)至(zhi)關(guan)重(zhong)要。清晰(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)圖(tu)像(xiang)能夠提供更(geng)(geng)豐富的(de)(de)(de)(de)(de)細節信息(xi)，例(li)如缺(que)(que)陷(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀、大小及(ji)其與周圍(wei)電(dian)路結構的(de)(de)(de)(de)(de)相對(dui)位置(zhi)，這些(xie)信息(xi)對(dui)于深(shen)入理(li)解失(shi)效機理(li)具有重(zhong)要價值(zhi)。在集成(cheng)電(dian)路的(de)(de)(de)(de)(de)失(shi)效分(fen)(fen)析中，高(gao)分(fen)(fen)辨(bian)率往往意味著能夠發(fa)現更(geng)(geng)微(wei)(wei)小、更(geng)(geng)早期的(de)(de)(de)(de)(de)缺(que)(que)陷(xian)跡(ji)象(xiang)，從而(er)實現更(geng)(geng)精(jing)(jing)確的(de)(de)(de)(de)(de)根源分(fen)(fen)析。蘇州致晟光(guang)電(dian)科技有限(xian)公司的(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)分(fen)(fen)辨(bian)率EMMI系統，旨(zhi)在為(wei)客戶提供足以洞察(cha)細微(wei)(wei)的(de)(de)(de)(de)(de)成(cheng)像(xiang)質量，支撐深(shen)入的(de)(de)(de)(de)(de)失(shi)效物理(li)研究。微(wei)(wei)光(guang)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡憑借高(gao)信噪(zao)比，能清晰(xi)捕捉微(wei)(wei)弱光(guang)信號。

蘇州致(zhi)晟(sheng)光(guang)(guang)(guang)(guang)電(dian)科技有限(xian)公司(si)在(zai)微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)系(xi)統(tong)的(de)研發(fa)(fa)中融(rong)合了光(guang)(guang)(guang)(guang)學、電(dian)子學與算法的(de)多項技術。公司(si)推出的(de)“近紅外微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)”不(bu)僅(jin)具備超高的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)敏感度，還可通(tong)過光(guang)(guang)(guang)(guang)譜區分(fen)不(bu)同(tong)(tong)類型的(de)發(fa)(fa)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，實現更精確的(de)缺陷識(shi)別。同(tong)(tong)時(shi)，致(zhi)晟(sheng)光(guang)(guang)(guang)(guang)電(dian)還將(jiang)微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)與熱(re)紅外成像系(xi)統(tong)進(jin)行(xing)模塊(kuai)化集(ji)成，形成一套多功能(neng)一體機。用(yong)戶可在(zai)同(tong)(tong)一設備上實現“看(kan)光(guang)(guang)(guang)(guang)”與“看(kan)熱(re)”的(de)同(tong)(tong)步分(fen)析，大(da)幅提升失效定(ding)位的(de)效率和(he)維度。這種(zhong)創新融(rong)合在(zai)國內半導體檢(jian)測(ce)設備領域(yu)處于國內先進(jin)水平。微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)適配多種(zhong)探測(ce)模式，兼顧科研與工業應用(yong)。檢(jian)測(ce)用(yong)微(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)顯(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)平臺

借助微(wei)光顯微(wei)鏡，研發(fa)團隊能快速實(shi)現缺陷閉(bi)環驗證(zheng)。微(wei)光顯微(wei)鏡哪家好(hao)

在(zai)缺陷(xian)定位(wei)和(he)失(shi)(shi)效分(fen)析(xi)方(fang)面，Thermal EMMI技(ji)術(shu)發揮著不(bu)可替代(dai)的(de)(de)作用(yong)，芯片在(zai)工(gong)作電(dian)壓下，局部(bu)異常區域會(hui)因電(dian)流(liu)異常集中(zhong)而釋放出(chu)微(wei)弱的(de)(de)紅外熱(re)輻射，系統通過高靈敏(min)探測(ce)器捕捉這些信(xin)號(hao)，形(xing)成高分(fen)辨率(lv)的(de)(de)熱(re)圖像(xiang)。圖像(xiang)中(zhong)亮點的(de)(de)強度和(he)分(fen)布為工(gong)程師(shi)提(ti)(ti)(ti)(ti)供(gong)了(le)直觀的(de)(de)失(shi)(shi)效位(wei)置指示。結合鎖相熱(re)成像(xiang)技(ji)術(shu)和(he)多(duo)頻率(lv)信(xin)號(hao)調制，能夠提(ti)(ti)(ti)(ti)升熱(re)信(xin)號(hao)的(de)(de)分(fen)辨率(lv)和(he)靈敏(min)度，從(cong)而準確(que)檢(jian)(jian)測(ce)極微(wei)小(xiao)的(de)(de)缺陷(xian)。該技(ji)術(shu)支持無損檢(jian)(jian)測(ce)，適(shi)合對復(fu)雜電(dian)路(lu)和(he)高精度器件進行深入分(fen)析(xi)。配合其他顯微(wei)分(fen)析(xi)手段(duan)，能夠完善揭示失(shi)(shi)效機理，為產品優化和(he)質量提(ti)(ti)(ti)(ti)升提(ti)(ti)(ti)(ti)供(gong)科學依據。例如，在(zai)電(dian)子(zi)制造(zao)和(he)研發機構中(zhong)，Thermal EMMI的(de)(de)應用(yong)幫助提(ti)(ti)(ti)(ti)升檢(jian)(jian)測(ce)效率(lv)，降低故障(zhang)(zhang)率(lv)，保障(zhang)(zhang)產品性能的(de)(de)穩定性。蘇州(zhou)致晟光電(dian)科技(ji)有限公司提(ti)(ti)(ti)(ti)供(gong)的(de)(de)解決方(fang)案覆(fu)蓋從(cong)研發到(dao)生產的(de)(de)全過程，滿足(zu)多(duo)樣(yang)化的(de)(de)失(shi)(shi)效分(fen)析(xi)需求。微(wei)光顯微(wei)鏡哪家好(hao)